视频介绍 电镜-拉曼联用方案 双束电镜-飞行时间二次离子质谱联用方案 联用成果 |
【报告摘要】
随着科研的深入及学科的交叉，常规扫描电镜系统无法满足科研工作者日益提升的分析需求。借助其它分析系统所得的数据，和电镜系统的数据往往非同时同位。TESCAN 提出了 All-In-One 的综合解决方案，在常规的SEM系统上，增加 Raman Spectrum Image 以及 TOF-SIMS 和 AFM 等多种表征系统，可以极大的提升扫描电镜系统的原位综合分析能力，做到所见即所得。
RISE 扫描电镜-共聚焦拉曼一体化显微镜是一款新颖的显微镜技术，在一个集成的显微镜系统中结合了共焦拉曼成像和扫描电子显微镜技术，这种独特的组合为显微镜用户对样品进行综合表征，提供了明显的优势。
扫描电子显微镜能表征样品表面微观形貌、成分和结构信息，并能快速成像，是一个很好的微观分析平台，但是电子显微镜所能表征的信息中缺少化合物分析组成信息，而共焦拉曼成像是表征样品化学和分子组成的成熟光谱方法。因此，集成了SEM与Raman表征功能一体的RISE电镜-拉曼一体化系统保证了两者分析位置的高度重合，同时也可以得到样品的2D、3D图像，实现元素分析，以及样品中分子化合物组成的可视化分布结果；两者也可以分别独立工作，互不影响。
引领变革 全方位拓展分析
RISE显微镜是一款革命性的产品，是世界上第一台真正实用化的扫描电镜-共焦拉曼联用系统。通过实现原位、快速、方便和高性能的拉曼分析，可以极大的拓展分析应用，在有机结构解析、碳结构解析、无机相鉴定、同分异构分析、结晶度分析等领域作出重大突破。
目前，RISE电镜-拉曼一体化系统在地质、矿物晶体、高分子聚合物、医学、生命医药、宝玉石鉴定等领域均有了非常丰富的应用。
无论您是怎样的客户 RISE显微镜都适合您
作为扫描电镜用户，您将会受益于拉曼光谱分析与扫描电镜成像技术结合的优势。RISE显微镜采用平行轴设计，使得电镜的各种探测器和附件（如BSE, CL, EDS等）在联用系统中都可以配置使用。
作为拉曼光谱用户，您将会体验到扫描电镜与拉曼光谱联用分析的拓展性和易用性。传统的拉曼光谱仪由于没有光学物镜，分辨率受限于激光束斑大小，难以达到理论上的衍射极限，处于几个µm的水平。而RISE显微镜不但拥有高数值孔径的光学物镜聚焦激光束斑，还能够通过束斑的扫描运动来进行成像，最终的拉曼图像分辨率突破了传统的衍射极限，达到了360nm(532nm激光)。
定制化系统功能：
q 平行轴式设计，保证样品台分别在电子束和激光束下的精准定位
q 基于TESCAN超大样品仓定制，拥有丰富的接口和极强的承高承重能力
q 同时具备电镜和光镜，配合X-Position功能，实现和任意光学照片及Mapping数据的联用
q 可集成电镜的各种探测器和分析附件，进一步拓展分析应用
q 点、线、面的拉曼成像分析，叠加图像能够提供极其丰富的数据信息
q 突破传统的衍射极限，拉曼图像分辨率可达360nm(532nm激光)
q 共聚焦功能实现光学物镜的三维逐层扫描，进行三维拉曼光谱成像
q 联用系统的扫描电镜部分和拉曼光谱仪部分可完全独立使用
q 联用系统可以集成在TESCAN任意扫描电子显微镜产品
无论哪个领域 RISE显微镜都会给您提供独特的方案
RISE扫描电镜-共聚焦拉曼一体化显微镜特别适合于有机结构解析、碳结构解析、无机相鉴定、同分异构分析、结晶度分析等领域的分析应用。目前，RISE显微镜在地质、矿物晶体、高分子聚合物、医学、生命医药、宝玉石鉴定等领域均有了非常丰富的应用。
元素分析是微观分析中重要的一环，通常用扫描电镜（SEM）结合X射线能量色散谱仪（ EDS ）或X射线波长色散谱仪（ WDS ）进行快速元素定性、定量和分布分析，优点是操作简单、速度快、可以面分布成像，但具有轻元素分析能力差、检出限差、空间分辨率差等问题，需要结合光谱或质谱等其他分析手段进行精确分析，但不同仪器分立分析的方案又带来了分析位置不易精确重合等问题。
为了解决这一问题，双束电镜（FIB-SEM）-飞行时间二次离子质谱(TOF-SIMS)联用方案被提上议程。飞行时间二次离子质谱（TOF-SIMS）是一种高度敏感的分析技术，可以提供材料表面的化学特性。TESCAN公司独特的二次离子质谱分析，由于离子产生的相互作用体积是几纳米的量级，比电子束产生的量级小得多（通常是几微米）。因此，与其他常见的扫描电镜化学分析技术（如EDX）相比，TOF-SIMS可以获得更好的横向和深度分辨率。
FIB-SEM-TOF-SIMS联用系统可以提供元素定性（从氢元素开始）分析、快速空间分辨率面分布分析，可以检测各种微量元素，检测浓度可达几个ppm，并可区分同位素。TOF-SIMS集成在FIB-SEM系统上，省掉了标准质谱仪的离子源，同时利用SEM-FIB的强大功能（成像，蚀刻，沉积，光刻，微操作等），可以通过加工样品实现对特定纳米结构进行SIMS分析。
该紧凑化设计的TOF-SIMS和常规的大质谱相比，虽然在质谱分辨率、灵敏度和检出限等质谱指标上有一定差距，但是测试速度快(一次性可测试整个质量数范围的元素和同位素)、成像质量好、空间分辨率高(利用FIB本身的高分辨，使得质谱的Mapping分析也有纳米级分辨率)、样品制备简单等都是其优势，可以与大质谱形成非常好的性能功能互补。
技术特点
q 轻元素的检测：常规EDS和WDS对轻元素的检测能力相对较弱，尤其是H、Li等元素更是无法测试，而TOF-SIMS却可以测试从H开始的任意元素；
q 检出限：常规EDS和WDS的检出限为1%和0.1%，而TOF-SIMS的检出限却可达ppm量级；
q 空间分辨率：由于X射线的扩展体积较大，限制了其分辨率的进一步提高；而二次离子的作用空间相对X射线更小，非常易于提高分辨率；
q 同位素：质谱仪可以获得EDS/WDS无法检测的同位素信息；
q 三维和深度剖析：利用FIB本身的加工能力，TOF-SIMS可以非常轻松的进行三维分析，并且可对感兴趣的元素或同位素在深度方向的变化进行剖析。
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