台式电镜   

VEGA COMPACT

安装环境

安装占地面积小，不需单独房间
内置减震，不必须装在一楼

安装面积与台式电镜相当，不需单独房间
内置减震，不必须装在一楼

灯丝成本

CeB6，虽单根寿命较长，但单价昂贵，
必须工程师更换
实际使用成本高

钨灯丝，虽单根灯丝寿命较短，
但单价低廉，用户可自行更换
实际使用成本低

软件及自动化功能   

英文操作界面，自动聚焦、消像散   

中文操作界面，自动聚焦、消像散

自动化控制（物镜合轴）

有

有

分辨率和放大倍率   

分辨率：8nm，有效放大倍率2万倍

分辨率：3nm，有效放大倍率10万倍

探测器和图像信息

标配BSE
形貌像和成分像的混合像

标配SE+BSE
独立的形貌像、成分像、阴影像和两者混合像

能谱（选配）

电镜加速电压只有20kV，元素定性定量分析有误差
仅能配小型化能谱，分析功能不全面

30kV加速电压，标准能谱
齐全的元素分析功能

最大样品尺寸（直径）

小于32 mm

145 mm

样品台

两轴样品台

五轴马达样品台