一篇「聚焦离子束电子束双束电镜」相关的Q&A

　　关于聚焦离子束电子束双束电镜的一些基本原理和日常使用问题，我们从万人弹幕提问中做了总结！如果平日里遇到各种问题，又求解无门；幸运的你，遇到耐斯的小编，只需这一篇文章就够了。

　　Q1:双束汇聚位置工作距离是多少？

　　不同型号的电镜重合点的位置是不一样的，有5mm，6mm，具体根据型号来定。

　　Q2:FIB切Al的话，用什么气体能够加速切割？

　　Cl2或者I2可以加速Al的切割

　　Q3:eds不是有非归一化定量吗？

　　有，但是需要用特定的试样先进行定量优化操作。

　　Q4:离子束和电子束有作用有什么不同？离子束和电子束哪个是用来刻蚀的？

　　离子束用于刻蚀加工，电子束用于成像，它对样品不会起到溅射的作用。

　　Q5:如何减小TEM样品制备时的窗帘效应？

　　沉积Pt保护层，小束流切割，摇摆切割。

　　聚焦离子束电子束双束电镜相关的问题就介绍到这里，我们将继续整理大家感兴趣的内容，并在后续的文章中呈现。