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100 kV 下TESCAN TENSOR对厚密样本的4D-STEM分析性能

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发表时间:2024-06-05 16:06

  TESCAN TENSOR是一款中压近超高真空集成4D-STEM。中压100kV下,电子束也能穿透绝大部分厚密样品,并保持清晰的图像和足够的分辨率。这都归功于完美集成的直接电子探测相机和电子束旋进衍射技术。TESCANTENSOR将以材料科学研究与半导体工业中的基准样本结果向您证明所获数据的质量。

100 kV 下TESCAN TENSOR对厚密样本的4D-STEM分析性能

  在100 kV加速电压下,电子束能够穿透的样品的最大厚度是多少,以及在这个厚度下是否还能保持清晰的图像质量和足够的分辨率?

  我们的直接电子探测相机的检测效率超过90%,对于材料科学中通常使用的样本,并不受样本厚度的限制。对于金属样本,例如钨,使用明场、暗场、高角环形暗场STEM成像技术,我们可以成像超过200nm厚的切片。使用电子束旋进可以可靠地拍摄超过250nm厚的各种材料的晶体相图和取向图。更多信息,请件技术说明。

  这份技术说明探讨了现代STEM仪器对厚密样品进行成像和分析的能力。一起来看一下当灵敏的直接电子探测相机在电子束旋进的衍射加持下,即使在100kV电压,TESCAN TENSOR对厚密样品进行拍摄的数据质量。


  TESCAN TENSOR 4D-STEM关键亮点

  深入了解现代STEM仪器成像和分析的能力。

  理解样本厚度对数据质量和分析结果的影响。

  直接电子探测相机和电子束旋进在提高STEM分析能力中的作用。

  用材料科学研究和半导体工业中使用的基准样本的结果验证所获数据的质量

  说明在研究多相功能材料,例如多孔电池电极和堆叠半导体器件时,使用厚密样本的必要性。这是因为这些材料的内部结构完整性对于研究至关重要,而这种完整性是薄片样本所无法提供的。


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  了解现代STEM仪器如何提高所获数据的质量并实现对高难度样品的分析。

100 kV 下TESCAN TENSOR对厚密样本的4D-STEM分析性能

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100 kV 下TESCAN TENSOR对厚密样本的4D-STEM分析性能

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  感谢您对我们研究和创新的兴趣。


  进一步了解:

  电子旋进衍射

  混合像素直接电子衍射相机

  分析型4D-STEM技术解析

  请访问TESCAN TENSOR中文网站:zh.info.tescan.com/stem


  TESCAN公司介绍

  TESCAN公司成立于1991年,是一家专注于微观形貌、结构和成分分析的科学仪器的跨国公司,是全球知名的电子显微仪器制造商,总部位于全球最大的电镜制造基地-捷克布尔诺,产品主要有电子显微镜、聚焦离子束、X射线显微CT、电镜和拉曼、双束电镜和二次离子质谱的一体化联用系统及相关附件和软件,正被广泛应用于材料科学、生命科学、地球科学、半导体和电子器件等领域中。

 
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