怎样提高SEM图像的立体感

对于表面比较平坦的样品，在拍摄SEM图像的过程中常常会发现图像的立体感特别差，图像没有层次感，所以使得图像的整体感觉较差，那么有哪些拍摄技巧可以增加图像的立体感及层次感。今天介绍三种增加图像的立体感的方法。

方法一： 倾斜样品台

图1 激光灼烧样品，左图无倾斜，观察到样品平坦的表面，右图倾斜45度，观察到孔中丰富的结构信息

方法二： 选择合适的探测器

不同的探测器由于放置在电镜的不同位置，所以其接受的电子信号的种类及角度都不同，可反应样品不同的信息。对于表面比较平坦的样品，如果希望增强图像的立体感，SED探测器是最好的选择，图2为SED探测器探测信号的原理图，在SE探测器前端的法拉第笼上通常会加上几百伏的电压，这个电压将有效的吸引二次电子信号，产生的各个方向的二次电子信号都将被探测器吸收，这使得二次电子图像的立体感较其他探测更好的原因。

图2 SED探测器探测信号的原理

图3 半导体样品表面，左图为SE图像，右图为In-Beam SE图像，左图具有比右图更好的立体感

图4 左图为SE图像，右图为BSE图像，左图具有比右图更好的立体感

方法三： 巧用BSE探测器

        上一种方法提到SE探测器拍摄的图像具有较好的立体感，但是SE探测器并不适用于所有的情况，比如样品的导电性较差，容易产生荷电；需要观察样品的成分信息；这时BSE将是最好的选择，但是正常情况下BSE拍摄的图像立体感较差，那么怎样提高BSE图像的立体感呢？

将BSE探测器适当的从极靴下面抽出，人为造成BSE探测器接受信号的不对称性，从而提高BSE图像的立体感，原理如下图所示。

图5 BSE探测器拔出不同的距离，探测到BSE信号的比较

图6 BSE探测器分别拔出0mm，5mm，10mm后图像BSE探测器的实际位置

图7 BSE探测器分别拔出0mm，5mm，10mm拍摄的BSE图像；从图中明显的看出通过拔出BSE探测器可以有效提高图像的立体感

这就是今天介绍的三种提高图像立体感的方法，用户可以根据不同的样品选择最佳的方法提高图像的立体感。