MIRA3 是一款高性能扫描电镜，配备有高亮度肖特基电子枪，以获得高分辨及低噪声成像。MIRA3 为用户提供优秀的扫描电镜使用体验，拥有更快的图像采集速度，超快速的静态和动态图像畸变补偿扫描系统以及用户自定义内置应用程序脚本等。
MIRA3 高束流下优异的分辨率非常有利于 EDS、WDS 及 EBSD 成分分析。借助优化的电子束减速技术 ( BDT ) 使得低着陆电压下的成像能力进一步增强。MIRA3 有 LM、XM 和 GM三种优化几何设计的样品室尺寸可供选择，同时可选择高/低真空操作环境。
突出特点
l 配置高亮度肖特基电子枪，实现高分辨率，大束流及低噪声成像；
l 独特的中间透镜（IML）技术和 Wide Field Optics™光路相配合，可提供多种工作和显示模式，如大视野模式和景深模式；
l 实时电子束追踪技术(In-Flight Beam Tracing™)可实现性能及电子束的实时优化，同时可直接控制电子束及束流的连续调节。电子束减速技术 ( BDT ) 在低电压下具有优异分辨率；
l 通过强大的 In-Beam 探测器可实现短工作距离下的优异成像（选配）；
l 所有的 MIRA3 仓室均配备优异的 5 轴全自动优中心样品台 (compucentric stage)同时拥有 EDS 和 EBSD 分析所需的理想几何结构设计；
l 可选配带有强大样品台的超大样品室（XM、GM），可检测大样品 (如6", 8", 12")晶圆；
l 优化几何设计的众多接口，可用于接入 EDS、WDS、EBSD 以及其他探测器；
l 可变真空模式适用于非导电样品研究；
l 多样可选择的减震方式可有效降低实验室环境振动的影响；
l 无畸变 EBSD 花样。
