中国电镜用户之家

分享到:

LYRA3 双束聚焦扫描电子显微镜

价格:
0.00
类型: FIB-SEM
品牌: TESCAN
产品详情

LYRA3 是一款集高分辨率 FE-SEM 镜筒和多功能的高性能 Ga 离子源 FIB 于一体的双束聚焦扫描电镜,是切割横断面、定位制备高质量TEM样品以及高分辨三维样品重构的绝佳选择。同时,大电子束流下的优异分辨率有利于 EDXWDXEBSD 等分析应用。LYRA3 满足了当今材料科学和工业的样品表征及微观分析需求。此外,LYRA3 非常适合电子束/离子束光刻、多层微电子器件的电路编辑。高通量、功能强大、易于使用的软件使得用户可以毫不费力地实现复杂的 FIB-SEM 应用操作,如三维重构、连续横断面切割、TEM样品制备以及相关的显微分析等。

突出特点

高性能电子光学系统

l    独特的 Wide Field Optics™ 设计,利用中间镜 ( IML) 技术使扫描电镜具有多种操作和显示模式,如大视野模式、景深增强模式等;

l    实时电子束追踪技术 (In-Flight Beam Tracing™),可实现性能及电子束的优化,同时直接连续调节控制电子束参数;

l    全自动电子光学系统的设置与对中;

l    快速图像采集速率;

l   应用先进的 3D 电子束技术可实现独特的实时立体成像观察,开启惊奇的 3D 体验及 3D 导航微纳世界之旅;


高性能离子光学系统

l   精密高性能 CANION FIB 镜筒,实现快速精准切割样品横断面和制备 TEM 试样;

l   可选配超高分辨率 COBRA FIB 镜筒,它体现了现代成像分辨率和离子束试样加工精度的最高水平,是现今纳米工程领域精度最高的 FIB 系统之一。


 
设为首页 | 收藏本站
SEM应用&技术中心

应用中心           镜技术          产品推荐         点新闻