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电子束减速技术
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电子束减速技术

价格:
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类型: 探测器
品牌: TESCAN
产品详情

  电子束减速技术(BDT)的目的是在低电子束能量时获得高分辨率成像。

BDT 技术 包括样品台的负电压偏置系统和镜筒内的探测器,该探测器在电子减速模式(BDM)下为 SE 探测器,在标准模式下为 BSE 探测器。TESCAN 2016年推出的 Triglav™超高分辨镜筒配置了浸没式物镜和 BDT 技术,镜筒内的高性能探测器,在 BDM 模式下可以同时采集 SE 和 BSE 信号。 在 BDM 模式下,在样品台上施加反向电压,电子束到达样品表面前能量降低,可以实现 50 eV 超低着陆能量(手动控制可到 0 eV)。BDM 通过减少镜筒的像差优化束斑,从而实现在低能量下也能获得高分辨率成像。


  低能量电子有利于减少不导电样品的荷电效应,也适合电子束敏感的样品,如集成电路失效分析中横截面的晶体管层、低介电材料和光阻剂。BDM 特别适于超低电子束能量下不镀膜生物样品的成像,且不破坏样品。BDM 模式下,较低的着陆能量也显著提升表面形貌的灵敏度,能得到优异的形貌和成分衬度。


 
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