电子束和样品相互作用产生可见光，其中发散的具有特征波长的光子就是阴极荧光（CL）。CL 是一种强大的结构和成分分析技术，可以反映 SE，BSE 或 EDS 无法获得的有效信息。这些信息包括区域组成、晶格结构、应变积累或结构损伤。与光学 CL 显微镜相比，基于 CL 的 SEM 成像可以达到更高的分辨率。
TESCAN CL 探测器
TESCAN CL 具有出众的灵敏度，即使在低加速电压下也可以获得高信噪比，可以清晰地呈现出样品的显微结构。此外，信号采集的效率在整个视场范围内是稳定均一的。TESCAN 超大视野光路技术，可以收集宽达 35 mm 视场的信号，且图像边缘的信号毫无减弱。
全色 CL 探测器:
TESCAN 研发了两款全色探测器，可以探测不同波长范围可见光:
350 nm ~ 650 nm ，可以探测可见光和近紫外光。该款探测器可独立使用，也可和 BSE 探测器交换使用。
185 nm ~ 850 nm ，可以探测紫外线、可见光和近红外光谱。
彩色 CL 探测器
彩色 CL 探测器可以在 350 ~ 850 nm 的光谱范围内同时进行全色和彩色 CL 成像。CL 信号分成红色、绿色和蓝色三个波段，这些信号可同时获得，再电子合成为扫描区域的实时彩色图像。
TESCAN 公司的所有 CL 探测器由电镜软件控制，在不工作时，CL 探测器可以自动从其工作位置退回。
