X 射线能谱谱仪是扫描电镜中常用的分析仪器之一。能谱仪（EDS）和波谱仪（WDS）是两种类型的 X 射线谱仪，它们对电子束与样品作用产生的特征 X 射线进行分析，以谱图形式呈现样品元素组成（直方图）来确定特定元素。EDS 和 WDS 的谱峰对应于元素的特征 X 射线。因此，利用谱图能对样品的化学成分进行定量分析。
在 EDS 分析中，整个能量范围的特征 X 射线是同时测量的，而在 WDS 分析中，只能测量一个单一波长（对应一个能量值）的特征 X 射线。因此，EDS 分析的速度比 WDS 快。在能量分辨率方面，WDS 的分辨率明显优于 EDS。在能谱中无法区分的峰可以用波谱分辨，这在分析微量元素时有很大价值。可以同时采集 EDS 和 WDS 数据，二者不会相互影响。对于未知样品，可以先进行初步的能谱分析来确定样品中的主要元素，然后用灵敏度更好的波谱分析，解决重叠峰问题，并检测那些超过能谱检测器的检测限的微量元素。
各种第三方能谱仪都可以集成到 TESCAN 的 SEM 和 FIB-SEM 中。
