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X 射线能谱谱仪
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X 射线能谱谱仪

价格:
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类型: 探测器
品牌: TESCAN
产品详情

X 射线能谱谱仪是扫描电镜中常用的分析仪器之一。能谱仪(EDS)和波谱仪(WDS)是两种类型的 X 射线谱仪,它们对电子束与样品作用产生的特征 X 射线进行分析,以谱图形式呈现样品元素组成(直方图)来确定特定元素。EDS WDS 的谱峰对应于元素的特征 X 射线。因此,利用谱图能对样品的化学成分进行定量分析。

EDS 分析中,整个能量范围的特征 X 射线是同时测量的,而在 WDS 分析中,只能测量一个单一波长(对应一个能量值)的特征 X 射线。因此,EDS 分析的速度比 WDS 快。在能量分辨率方面,WDS 的分辨率明显优于 EDS。在能谱中无法区分的峰可以用波谱分辨,这在分析微量元素时有很大价值。可以同时采集 EDS WDS 数据,二者不会相互影响。对于未知样品,可以先进行初步的能谱分析来确定样品中的主要元素,然后用灵敏度更好的波谱分析,解决重叠峰问题,并检测那些超过能谱检测器的检测限的微量元素。
   
各种第三方能谱仪都可以集成到 TESCAN SEM FIB-SEM 中。


 
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